针对半导体制造中全氟化合物（PFC）处理的行业难题，常州启程环境技术有限公司近日推出新一代Hybrid Scrubber设备。该设备通过“吸附+冷却”双效技术，结合自主研发的特种吸附材料，可分解并吸附PFC、NF3等难处理气体，处理效率达行业领先水平。
Hybrid Scrubber系列包含QC-200HB、QC-100HB等多型号，适配50-200slm不同气量需求，操作温度覆盖400°C至650°C，同时具备模块化设计，便于维护和升级。设备采用耐腐蚀材料制造，支持PLC自动控制及安全联锁机制，目前已在国内多家半导体工厂投入应用。公司技术负责人表示，该设备的推出填补了国内PFC处理技术的空白，未来将加速拓展东南亚市场，助力全球半导体产业低碳转型。
