近年来，全球半导体行业进入高速扩产周期，台积电、三星、英特尔等头部企业纷纷加大先进制程投资，带动泛半导体工艺废气治理需求激增。据统计，2023年全球半导体废气处理设备市场规模已突破50亿美元，年复合增长率达12%，其中PFC（全氟化合物）、酸性气体等难处理污染物的治理技术成为行业痛点。
常州启程环境技术有限公司紧抓市场机遇，依托自主研发的Hybrid Scrubber、Plasma Scrubber等核心设备，为半导体制造环节提供定制化废气处理方案。其设备采用高温分解、等离子体催化等先进技术，可高效去除PFC、NF3、HCl等20余种气体，处理效率达99%以上，并通过SEMI S2等行业权威认证。
公司市场总监表示，随着国内半导体产业链自主化进程加速，以及东南亚新建晶圆厂的需求释放，启程环境已与多家跨国FAB厂达成合作，2023年海外订单同比增长180%。未来，公司计划进一步优化设备能效，开发适配2纳米以下制程的超低排放解决方案，助力全球半导体产业绿色转型。
